ESC Dry Etcher 내 reflect 현상
2009.08.07 13:39
안녕하세요 저는 Dry Etcher 네 세라믹 Coating Type 정전척 ESC 만드는 회사에 다니고 있습니다.
다름이 아니라 고객사에서 Dry Etcher 장비 의 Reflect현상이 발생했다고 하는데 , 이현상에 대해 설명 부탁드립니다.
아울러 이 현상과 ESC 연관성에 대해서도 설명 부탁드립니다.
댓글 2
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77210 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20465 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57362 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68901 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92946 |
| 206 | N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] | 23791 |
| 205 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19200 |
| 204 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21341 |
| 203 | H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] | 24704 |
| 202 | dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] | 26245 |
| 201 | 몇가지 질문있습니다 | 16583 |
| 200 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21934 |
| 199 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 18031 |
| 198 | matching box에 관한 질문 [1] | 29706 |
| 197 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18284 |
| 196 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19366 |
| 195 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19585 |
| 194 | Dry Etcher 에 대한 교재 [1] | 22563 |
| 193 | 플라즈마 측정기 [1] | 21344 |
| » | Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] | 22272 |
| 191 | Arcing [1] | 28680 |
| 190 | RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] | 24787 |
| 189 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18800 |
| 188 | 궁금해서요 | 16324 |
| 187 | PM을 한번 하시죠 | 19738 |