DC glow discharge 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다.
2012.05.09 19:38
어떤 실험을 하는 도중에 플라즈마가 생기는 과정을 목격하게 되었습니다.
그래서 플라즈마에 대해 여러가지 조사를 해보았는 데, 별다른 정보를 얻을 수 없어서 질문 해봅니다.
1. 공기 중에서 플라즈마가 생기는 메커니즘이 자세하게 어떻게 되나요??
2. 플라즈마가 양극에서 먼저 생기고 음극쪽으로 다가가는 현상이 나타나는 데 이유가 무엇인가요?
3. 플라즈마가 한 쪽 전극으로 끌려가는 현상이 가능한가요? 가능하다면 끌려가는 과정도 알고 싶습니다.
부탁드립니다! 감사합니다^^
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77131 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20420 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57331 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68870 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92892 |
| 801 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 28 |
| 800 | Druyvesteyn Distribution | 32 |
| 799 | PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. | 43 |
| 798 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 46 |
| 797 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 48 |
| 796 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 48 |
| 795 | HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] | 56 |
| 794 | 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] | 59 |
| 793 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 69 |
| 792 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 77 |
| 791 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 78 |
| 790 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 88 |
| 789 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 92 |
| 788 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 98 |
| 787 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 98 |
| 786 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 103 |
| 785 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 109 |
| 784 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 114 |
| 783 | 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] | 116 |
| 782 | RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] | 129 |