ATM Plasma 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성]

2014.06.20 14:08

김병인 조회 수:2776

안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.

최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.

플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.

특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.

그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.

플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 80941
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21630
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58436
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70057
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 95389
304 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [표면 전위 생성 및 방전] [3] 3174
303 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [장치 구조에 따른 공간 분포] [2] 4523
302 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계] [1] 1341
301 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [Excitation transfer 반응과 방사천이율] [1] 1990
300 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [Radio-Frequency Plasma] [1] 1798
299 DC스퍼터링과 RF 스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [플라즈마 생성과 Sputtering] [2] 3977
298 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [DC 글로우 방전 및 Breakdown] [1] 3319
297 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9894
296 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 10035
295 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [Plasma actuator와 DBD 방법] [3] 1433
294 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석] [1] 1986
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 2326
292 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 1457
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Depostion Rate 감소 현상 문의 [전자의 에너지와 중성입자와의 충돌] [1] 3065
290 수중 방전 관련 질문입니다. [수중 방전 플라즈마의 특징] [1] 9772
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 2253
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2030
» 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성] [1] 2776
286 자료 요청드립니다. [1] 6288
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 17043
쓰기
태그

Boards

XE Login