Others 플라즈마 내에서의 현상
2016.06.08 00:50
플라즈마 안에서는 원자들끼리 (비)탄성충돌이 발생하거나 그로 인해서 재결합이나 전하 이동, 여기, 이온화, 이완, 분리 같은 현상들이 발생하는 것으로 아는데 이런 현상들이 플라즈마의 유동에도 영향을 미치는지 궁금합니다. 그리고 플라즈마 난류 시뮬레이션에 이런 현상들이 반영되는지도 궁금합니다. 특수한 상황에서는 고전적인 MHD로 플라즈마 유동을 설명할 수 없다고 하던데 그런 것들이 플라즈마 내에서 발생하는 현상들과 관련이 있는 것인지 궁금하여 질문 드립니다. 답변 부탁드리겠습니다. 감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [281] | 77177 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20452 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57350 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68888 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92925 |
| 804 |
CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다.
 | 0 |
| 803 |
Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다
[1] | 7 |
| 802 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 31 |
| 801 | Druyvesteyn Distribution | 38 |
| 800 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 48 |
| 799 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 53 |
| 798 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 54 |
| 797 | PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. | 56 |
| 796 | ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [1] | 56 |
| 795 | 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] | 67 |
| 794 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 72 |
| 793 | HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] | 75 |
| 792 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 81 |
| 791 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 81 |
| 790 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 88 |
| 789 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 100 |
| 788 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 102 |
| 787 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 106 |
| 786 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 112 |
| 785 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 112 |