CCP CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활

2016.12.15 13:35

4차원 조회 수:7662

안녕하세요?

제가 알기로는 CCP는 두 전극사이에서 플라즈마가 일어나는 것으로 알고 있는데, 만약 두 전극 사이에 유전체가 속해진다면, 이 유전체가 어떠한 역할을 하는지 알고 싶습니다. 

http://plasma.ee.pusan.ac.kr/xe/sou

위의 사이트에서 보니깐 CCP에 유전체가 원래 있는 것처럼 보이는데, 웹에서 다른 내용을 보면 유전체 이야기는 없는, 단지 두 개의 평행한 전극만 이야기하는 내용도 있어서 궁금해서 글을 올립니다.

감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76897
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20287
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57206
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68760
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92719
799 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 16
798 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 16
797 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 17
796 Druyvesteyn Distribution 24
795 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 31
794 플라즈마 식각 커스핑 식각량 36
793 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 62
792 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 65
791 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 71
790 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 74
789 플라즈마 설비에 대한 질문 76
788 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 78
787 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 82
786 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 84
785 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 90
784 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 95
783 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 98
782 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 121
781 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 124
780 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 125

Boards


XE Login