Others Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
2017.01.10 21:48
안녕하십니까, 서울대학교 황농문 교수님 연구실 석사과정 김수종입니다.
제가 하고 싶은 것을 대략적으로 설명드리면, nano-size dust들의 크기를 조절에서 박막 증착의 물성을 확인하려고 하는데, 이 nano particle을 어떤 방식으로 조절할까 고민하던 중 흥미있는 논문을 읽게 되었습니다.
제가 논문을 이해한바로는, DC probe와 Current probe와 같은 간단한 장비를 이용해서, third Harmonics와 fundamental amplitude를 읽어들여서, nano particle의 nucleation, accumulation, coagulation, 세 단계를 실시간으로 잡아낼 수가 있다고 합니다. 이를 이용해서 nano particle 의 size를 조절할 수 있다는, 제가 꼭 필요한 부분에 관한 내용입니다.
사실, ICP 장비를 다루고는 있지만, 플라즈마 및 장비에 대해서 지식이 부족해서 장비 업체에 연락을 먼저 해 봤지만 잘 모르겠다고 답변을 받았고, 저희 연구실과 같이 공동 연구를 하는 쪽에도 여쭤봤지만 확답은 잘 못 받았습니다.
이미 그 논문을 쓴 해당 연구실에 관련한 궁금증에 대해서 질문을 메일로 보냈습니다.
하지만, 혹시 여기에서도 좋은 조언을 얻을 수 있을까 하는 희망을 가지고 질문 올립니다.
혹시 필요하실까봐, 제가 읽은 짧은 논문 하나와, 그 연구실에서 나온 것으로 생각된 document를 보내드립니다.
Document에서 제가 관심 있어하는 부분은 50쪽 Figure II.1과 59쪽 II.3.b Vdc and 3H probes에 관한 내용입니다.
참고할 만한 작은 조언이라도 부탁드립니다.
010-4188-1840
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77213 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20465 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57362 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68901 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92946 |
666 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 634 |
665 | RF Sputtering Target Issue [2] | 635 |
» | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 639 |
663 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 642 |
662 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 651 |
661 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 657 |
660 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 667 |
659 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 672 |
658 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 676 |
657 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 686 |
656 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 687 |
655 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 694 |
654 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 697 |
653 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 699 |
652 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 700 |
651 | Polymer Temp Etch [1] | 712 |
650 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 714 |
649 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 715 |
648 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 716 |
647 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 724 |