Others 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density]

2017.03.23 15:40

메탈 조회 수:1130

안녕하세요. 반도체 회사 근무중인 송용재입니다.

 

3가지 질문을 드리려고 합니다.

 

염근영 교수님 플라즈마 식각 기술이라는 책을 구매하여 보고있는데 제 실력이 부족해서 이해가 되지않아 질문 남깁니다.

 

1.  이온의 속도는 왜 전자의 온도로 결정되는건가요? 공식은 알겠지만 .. 메카니즘이 이해되지 않아 질문 남깁니다.

 

2. RF 등가회로는 왜 저항으로 표기 되는건가요??

 

3. 파센법칙 관련해서 질문드립니다.

    진공상태에서 거리가 멀어지는데 왜 입자수가 증가되는건가요?

     입자간의 전기장은 전자의 가속과 왜 관계가 있는건가요?

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