Others RF power에 대한 설명 요청드립니다.
2017.03.29 14:50
PLASMA에 영향이 있는 ICP챔버의 경우에 대한 Parameter 해석관련 질문드립니다.
공식으로 알고 있는 이해보다 왜 그런지 쉬운 설명으로 메카니즘 해석 좀 부탁드리겠습니다.
제가 잘못알고 있거나 일부분만 알고 있는 내용일수 있는데 이점 양해 부탁드립니다.
책을 보았으나 혼동되는 부분이 있어 개념을 잡으려고 합니다..
* RF bias POWER는 전자밀도 와 비례 , ion flux 와 비례하는걸로 알고 있습니다.
1. electron density 와 비례한다면 ,,, ion density는 영향이 없는건가요?
2. 전자밀도가 높으면 쉬쓰 두께는 왜 줄어드나요?
충돌확률이 왜 전자밀도와 반비례인가요? 밀도가 높은데 충돌확률이 왜 떨어지는지 잘 모르겠습니다..
3. debye length 인/척력이 이온이나 전자의 가속과 관련이 있는건가요..?
입자의 속도는 밀도와 온도에만 관련있다고 알고 있는데 인/척력이 나오니 좀 헤깔리네요;;
4. ICP type에서 RF source power는 bias power 와 ion이나 전자 거동이 어떻게 다른지 궁금합니다.
사실 제가 RF(source power 상단부) Reflect power 부분이 관심이 많습니다..
- Bias voltages depend on gas : √Te/Kiz(Te) ~ d
- ω↑ → n↑ → sheath 두께 δsh↓ → 플라즈마 size d↑ → 전자온도 Te↓
→ 충돌확률 νm↓ →
Diffusion D↑ →
more symmetric → Vdc-bias↓ → Vdc-sh↓
- δsh ∝ ω-1 , d (plasma width) = characteristic length - sheath width
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77169 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20450 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57349 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68888 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92922 |
802 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 31 |
801 | Druyvesteyn Distribution | 38 |
800 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 48 |
799 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 52 |
798 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 53 |
797 | ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [1] | 53 |
796 | PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. | 56 |
795 | 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] | 67 |
794 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 71 |
793 | HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] | 73 |
792 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 79 |
791 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 81 |
790 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 88 |
789 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 100 |
788 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 102 |
787 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 104 |
786 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 112 |
785 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 112 |
784 | 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] | 123 |
783 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 124 |