Plasma in general (PAP)plasma absorption probe관련 질문
2018.08.06 10:14
안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.
(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.
일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.
원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.
일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....
교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.
그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.
감사합니다. 좋은하루 보내십시오.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77070 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20384 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57294 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68840 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92842 |
| 421 | 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] | 2949 |
| 420 | HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] | 2927 |
| 419 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 2903 |
| 418 | HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? | 2896 |
| 417 | [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] | 2859 |
| 416 | Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] | 2850 |
| 415 |
임피던스 매칭회로
[1]  | 2837 |
| 414 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2812 |
| 413 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2737 |
| 412 | PR wafer seasoning [1] | 2707 |
| 411 | 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] | 2699 |
| 410 | RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] | 2681 |
| 409 | 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] | 2672 |
| 408 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] | 2594 |
| 407 | 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] | 2592 |
| 406 | 질문있습니다. [1] | 2589 |
| 405 | Si Wafer Broken [2] | 2556 |
| 404 | [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] | 2537 |
| 403 | 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] | 2524 |
| 402 | 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] | 2501 |