CCP 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련

2020.01.02 18:46

베컴 조회 수:20033

안녕하십니까?


이전에 에쳐장비 관련 장비메이져 회사에서 근무한 경험이 있습니다.


그당시, 에쳐장비에서 HF/LF가 RF가 인가가 되는데,

그라운드 링이라는 하드웨어가 상부전극 주위 즉 Deposhield윗 공간에 존재를 하였습니다.


에쳐장비에서 RF관련 그라운드를 어떻게 잡는지가 궁금합니다.

(그라운드를 잡지않으면, 아킹이나 노이즈 등의 위험이 있다고 생각합니다.)


확인 및 답변 부탁드립니다.

새해 복 많이 받으시고, 행복한 한해 되십시오.

감사합니다.





이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102019
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24528
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61175
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73218
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105414
513 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [Particle 관리] [1] 1197
512 Hollow Cahthode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [장치 setting과 전극재료] [1] file 1045
» 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 20033
510 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 1097
509 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [Etch와 IEDF] [2] 4157
508 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1332
507 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential] [2] 1553
506 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [Flow rate와 moral ratio, resident time] [1] 3688
505 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소] [1] 784
504 ICP reflecot power [Insulator와 rf leak] [1] 2028
503 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [MFC와 residence time] [1] 2555
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [ESC와 matcher] [1] 13860
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [Step ionization, Dissociative ionization] [1] 3037
500 공정플라즈마 [플라즈마 입자 거동 및 유체 방정식] [1] 1457
499 임피던스 매칭회로 [전기공학 회로 이론 및 impedance matching] [1] file 3296
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성] [1] 830
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [Plasma chemistry] [3] 2069
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [고전압 방전 및 DBD] [2] 2016
495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [Child-Langmuir sheath model] [2] 4359
494 대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계] [2] 1425
쓰기
태그

Boards

XE Login