Plasma Source RF generator 관련 문의드립니다 [Matcher와 line damage]

2020.04.11 09:43

미누85 조회 수:2365

안녕하세요

천안에 재직중인 김민우라고 합니다

현업에 사용하는 스퍼터 장비 RF generator관련 문의사항이 있어 질문드립니다

현상은

RF 플라즈마을 띄우면 정상으로 뜰때도 있고

매처로 튜닝도 되지 않는 엄청난 리플렉트가 발생할때도 있고

플라즈마가 아에 뜨지 않는 경우도 있습니다

변경사항으로는

RF generator가 죽어서 동일한 모델에다가 죽은 generator 내부컨트롤 보드만 스왑해서 

다시 장착해서 사용중입니다

궁금한점은

원인을 계속 찾고 있는 중에

저항 체크 시 챔버쉴드랑 rf 사이에는 무한대

동축케이블 심과 쉴드 사이는 무한대 가 다뜨는데

rf generator 출력단(동축케이블 꽂는곳) 저항 체크 시 심선 닿는곳과 바깥쪽 쉴드 사이에

저항이 0.3옴이 뜹니다? 이부분이 궁금해서요..

저항이 무한대로 나와야 되는건가요?

 

 

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