Remote Plasma remote plasma 데미지 질문
2020.04.18 19:32
안녕하세요
반도체 공부하고 있는 학생입니다
반도체 관련 논문을 읽다 모르는 것이 있어 질문드립니다
remote plasma 경우 소스와 타겟 물질의 거리가 멀어 direct plasma 보다 플라즈마 데미지가 낮다고 하는데,
제가 알기로는 거리가 멀면 mean free path가 길어지고 플라즈마가 가속되어 에너지가 더 큰 것으로 알고 있습니다
그럼 충돌에너지가 커서 데미지가 더 커지는거 아닌가요..?
자세한 답변 부탁드립니다 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77138 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20425 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57335 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68873 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92897 |
562 | Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? | 15892 |
561 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15813 |
560 | Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. | 15692 |
559 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15652 |
558 | 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여....^ _ ^ ; | 15634 |
557 | 핵융합반응/플라즈마 | 15538 |
556 | In-flight plasma process | 15508 |
555 | 우주 플라즈마 | 15360 |
554 | 박막 형성 | 15301 |
553 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15168 |
552 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15059 |
551 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14890 |
550 | 우주 플라즈마 | 14787 |
549 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14740 |
548 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14733 |
547 | 우주에서의 플라즈마의 성분비 | 14589 |
» | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14497 |
545 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14450 |
544 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14147 |
543 | 플라즈마의 상태 | 14084 |