Sputtering RF Sputtering Target Issue
2022.10.28 21:14
안녕하세요 교수님. 이번에 새로이 RF 스퍼터를 사용하게 된 학생입니다.
첨부한 이미지와 같이 현재 metal oxide 타겟을 이용하여 증착 후 타겟에 검은색 ring 모양의 contamination이 생기는 이슈가 있습니다.
서칭 결과 Magnetic feild로 인한 redeopsition으로 추청되는데 해당 현상이 맞는 것인 지와 현상을 해결하기 위한 방법(e.g. RF power 감소)을 여쭙고자 합니다.
아직 스퍼터를 사용한 지 얼마 되지 않아 많이 미숙하여 자체적인 판단이 어려워 도움을 요청드리는 바입니다.
날이 많이 추워졌는데 건강 조심하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다!
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77055 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20376 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57289 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68834 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92833 |
701 | 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [1] | 21519 |
700 | 47th American Vacuum Society International Symposium 2000 | 21425 |
699 | CCP 에서 Area effect(면적) ? | 21423 |
698 | Breakdown에 대해 | 21390 |
697 | 플라즈마 실험 | 21353 |
696 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21340 |
695 | 플라즈마 측정기 [1] | 21338 |
694 | Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 | 21324 |
693 | ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] | 21206 |
692 | 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] | 21121 |
691 | 플라즈마란? | 21063 |
690 | 대기압플라즈마 진단 | 21026 |
689 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20988 |
688 | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20920 |
687 | plasma cleanning에 관하여.... | 20839 |
686 | IEDF EQP에 대한 답변 | 20809 |
685 | 이온주입량에 대한 문의 | 20743 |
684 | 교재구입 | 20727 |
683 | Three body collision process | 20654 |
682 | Lissajous figure에 대하여.. | 20632 |