OES OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다.
2023.03.21 10:57
안녕하세요!
플라즈마를 좋아하고 공부하고 있는 디스플레이 엔지니어입니다!
OES를 스펙트럼 분석을 통해서 공정 개선을 해보고 싶습니다.
그이전에, OES를 통해서 공정중 막질 Uniformity를 개선한 사례가 있는지 궁금합니다.
혹시 조언을 얻을 수 있을까요??
감사합니다!!!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77146 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20426 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57335 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68880 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92901 |
702 | 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [1] | 21522 |
701 | CCP 에서 Area effect(면적) ? | 21426 |
700 | 47th American Vacuum Society International Symposium 2000 | 21425 |
699 | Breakdown에 대해 | 21391 |
698 | 플라즈마 실험 | 21354 |
697 | 플라즈마 측정기 [1] | 21342 |
696 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21340 |
695 | Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 | 21327 |
694 | ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] | 21210 |
693 | 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] | 21123 |
692 | 플라즈마란? | 21063 |
691 | 대기압플라즈마 진단 | 21026 |
690 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20993 |
689 | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20922 |
688 | plasma cleanning에 관하여.... | 20842 |
687 | IEDF EQP에 대한 답변 | 20809 |
686 | 이온주입량에 대한 문의 | 20743 |
685 | 교재구입 | 20727 |
684 | Three body collision process | 20655 |
683 | Lissajous figure에 대하여.. | 20633 |