Others AP plasma 공정 관련 문의
2023.12.21 09:20
안녕하세요 플라즈마 업체 쪽에서 근무하고 있는 황보람입니다.
당사 내에서 전극에 N2+Air를 사용중이며, 샘플을 평가할 때 성능이 좋은 편인데
현장에 납품하면 갑자기 성능이 당사에서 봤던 성능이 안 나옵니다..
Gas 순도나 공정환경의 온도 및 습도까지 동일하게 해봤는데도 동일 시 안 나오는데 원인에 대한 부분이 뭐가 있을까요..?
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77188 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20456 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57355 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68896 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92937 |
| 804 | Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [1] | 16 |
| 803 |
CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다.
[1]  | 26 |
| 802 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 34 |
| 801 | Druyvesteyn Distribution | 43 |
| 800 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 50 |
| 799 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 56 |
| 798 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 58 |
| 797 | PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. | 64 |
| 796 | ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [1] | 67 |
| 795 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 74 |
| 794 | 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] | 74 |
| 793 | HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] | 82 |
| 792 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 84 |
| 791 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 85 |
| 790 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 90 |
| 789 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 101 |
| 788 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 107 |
| 787 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 114 |
| 786 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 115 |
| 785 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 116 |