Etch 플라즈마 식각 공정 중 폴리머의 거동 [재료 표면 반응]

2024.07.03 10:26

galaxydh 조회 수:4503

안녕하세요, 플라즈마 식각 관련 연구를 수행 중인 석사과정 대학원생입니다.

 

플라즈마 식각에서 폴리머 증착 및 분해를 통해 비등방성 식각을 수행할 수 있다고 이해하고 있습니다.

그러나 식각 과정 중 설비 내에 부산물, 즉 폴리머가 웨이퍼, ESC, 링 사이에 축적되어 아킹(arcing)이 발생하고,

이로 인해 웨이퍼 및 설비에 손상을 입히게 된다는 것을 알게 되었습니다.

 

이와 관련하여, 부산물인 폴리머가 어떤 메커니즘으로 분해가 일어나며,

폴리머가 축적되는 이유가 어떤 건지 여쭙습니다.

 

감사합니다.

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