안녕하십니까. 방전챔버에 대한 연구 중인 김도연입니다. 질문방을 통해 많은 도움을 받아 연구에 큰 도움이 되고 있습니다. 정말 감사드립니다. 이번에 궁금한 점이 있어서 질문을 드리고자 글을 쓰게 되었습니다. 제 질문은 아래와 같습니다.

1. 방전챔버에 다른 두 종류의 화학종을 넣었을때 각각 얼마나 이온화가 이루어지나에 대한 질문입니다.
kr의 이온화에너지가14이고, Xe의 이온화에너지가12.1정도이므로 같은 방전챔버에 같은 양의 중성을 넣어 방전시킨자면, Xe의 이온수가 14/12.1배 더 많다. 이렇게 생각해도 되나요?

2. 1번과 이어지는 질문입니다. CO2의 이온화에너지는 13.8정도로 아는데, 이를 CO2가 Xe에 비해 12.1/13.8배 덜 이온화 되며, 그 이온화 된 C, O의 비가 1:2 일것이라고 생각해도 될까요?

ex)  10^19수밀도의 Xe이 RF방전챔버에서 약 2%(임의의 값)가 이온화되어 2^18의 Xe+가 생성될때, 같은 양의 CO2는 2^18*12.1/13.8이 이온화되고,  이 중 C+은 (2^18*12.1/13.8)*1/3이며 O2는 2^18*12.1/13.8*2/3이다. 

3. RF 방전챔버 내 전자온도가 3~10eV정도 되는 것으로 알고있습니다. 이에 반해  화학종들은 10이 넘습니다. 이건 전자온도에 대한 맥스웰분포에서, 대다수의 전자의 온도는 3~10eV이며, 분표의 꼬리에 해당하는 소수의 전자만 이온화를 일으킨다는 것으로 이해해도 될까요?