안녕하세요 반도체 장비사를 다니고 있는 엔지니어입니다

RF 대해서 전문가 분들께 의견을 듣고 싶어서 글을 쓰게되었습니다. 지식이 부족한 상태에서 글을 적는 점 양해 부탁드립니다

- 배경 : RF MATCHER SHUNT, SERIES 불량

- 문제 : RF MATCHER와 전극을 연결하는 RF LOD가 있는데 RF MATCHER를 잘못장착하면 LOD가 처지게 되는 경우가 있음

          이렇게 된 상태에서 장기간 사용시 SHUNT, SERIES 불량해지는것같음

- 이유 : LOD가 처지지않게 장착하면 SHUNT, SERIES 양호해짐

이런 이유로 본사 엔지니어에게 설계 수정을 요청했는데 아무래도 전기적 변화를 수치화하는 근거가 없다보니 설명이 부족한 것 같습니다

우선은 타당한 근거인지도 확신이 없는데 이러한 현상에 대해 어떻게 생각하시는지와 이것을 해석할 수 있는 방법을 제시해 주실수있으련지요? 두서없는글 읽어주셔서 고맙습니다