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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어]
[1] | 4277 |
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CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화]
[1]  | 2938 |
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436 |
DRY Etcher Alarm : He Flow 관점 문의 드립니다. [O ring 결합부 근처 leak detect]
[1] | 4404 |
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Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [Gas별 고유한 플라즈마 색]
[1] | 6014 |
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RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제]
[1] | 2570 |
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RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화]
[1] | 2919 |
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432 |
플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문있습니다. [이온과 전자의 속도 차이와 Gate valve의 위치]
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산소 플라즈마에 대한 질문입니다...
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수중속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다. [방전 특성과 절연 파괴]
[2] | 2300 |
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자기 거울에 관하여
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플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해]
[1] | 2804 |
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Descum 관련 문의 사항. [라디컬 및 이온 생성과 플라즈마 생성 메커니즘]
[1] | 5660 |
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RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화]
[1] | 3124 |
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Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선]
[1] | 2576 |
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Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정]
[2] | 3487 |
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glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성]
[1] | 2166 |
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OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature]
[1] | 10500 |
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421 |
챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자]
[1] | 3113 |
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420 |
해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정]
[1] | 2179 |
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419 |
고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격]
[1] | 3995 |
