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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 114436
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209 surface wave plasma에 대해서 [Microwave와 electron temperature] [1] 20912
208 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 24272
207 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [Coaxial cable과 wave shield] [1] file 23746
206 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [Cooling과 Etch rate] [2] 26232
205 질문이 몇가지 있읍니다. [Lorentz force와 Magnetic cusp] [1] 21092
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision] [1] 23401
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점… [폭발과 pressure] [1] 27698
202 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity] [3] 29020
201 몇가지 질문있습니다 17421
200 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 24344
199 Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달] [1] 20172

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