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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제]
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PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어]
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753 |
플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해]
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대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해]
[1] | 537 |
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751 |
standing wave effect, skin effect 원리 [Maxwell 방정식 이해]
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750 |
Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath]
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RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택]
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748 |
center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2
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747 |
center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge]
[1] | 1557 |
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746 |
RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭]
[2] | 1852 |
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안녕하세요, RPS나 DEPOSITION 간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [플라즈마 충돌 반응]
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RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability]
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RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise]
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742 |
안녕하세요 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [E x B drift]
[1]  | 815 |
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CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선]
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740 |
플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별]
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739 |
주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [ICP, CCP 플라즈마 heating]
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738 |
remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화]
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ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [방전 기전]
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736 |
RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield]
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