|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[321]
| 86442 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 22669 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 59375 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 71133 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 98367 |
|
688 |
O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다.
| 844 |
|
687 |
플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation]
[1] | 1290 |
|
686 |
Ta deposition시 DC Source Sputtreing
| 2431 |
|
685 |
전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [Plasma density와 Balance equation]
[1] | 1527 |
|
684 |
OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단]
[1] | 1037 |
|
683 |
sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias]
[1] | 1278 |
|
682 |
RF Sputtering Target Issue [Sputtering]
[2]  | 859 |
|
681 |
OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델]
[1] | 805 |
|
680 |
PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD]
[1] | 2362 |
|
679 |
plasma striation 관련 문의 [Plasma striation]
[1] | 721 |
|
678 |
Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
| 667 |
|
677 |
주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating]
[1] | 829 |
|
676 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)]
[1] | 814 |
|
675 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning]
[1] | 1511 |
|
674 |
Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas]
[1] | 1603 |
|
673 |
Plasma Arching [Plasma property]
[1] | 1292 |
|
672 |
Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지]
[1] | 952 |
|
671 |
CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion]
[1] | 1247 |
|
670 |
AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제
| 689 |
|
669 |
플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료]
[1] | 1726 |
