번호 제목 조회 수
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60534
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72404
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 103100
672 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 1038
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1333
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 726
669 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 1862
668 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1786
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 683
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술] [1] 998
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1235
664 RF 파워서플라이 매칭 문제 994
663 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.[CCP와 Vdc, Vpp] [1] file 7539
662 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection] [1] 1741
661 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 960
660 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE] [1] 836
659 N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma] [1] 1953
658 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [Cleaning 후 재활용] [1] 729
657 etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution] [1] 1497
656 Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground] [1] 810
655 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1313
654 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [Plasma information과 monitoring] [1] file 828
653 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [Self bias] [1] 1388

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