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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[338]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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678 |
Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
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677 |
주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating]
[1] | 3703 |
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676 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)]
[1]  | 3143 |
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675 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning]
[1] | 4293 |
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674 |
Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas]
[1] | 4383 |
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673 |
Plasma Arching [Plasma property]
[1] | 3896 |
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672 |
Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지]
[1] | 3225 |
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671 |
CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion]
[1] | 3921 |
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670 |
AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제
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669 |
플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료]
[1] | 4219 |
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668 |
반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment]
[1] | 4342 |
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667 |
스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실]
[1] | 2492 |
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666 |
방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술]
[1] | 3749 |
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665 |
Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase]
[1] | 3999 |
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664 |
RF 파워서플라이 매칭 문제
| 2101 |
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663 |
CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.[CCP와 Vdc, Vpp]
[1] | 11418 |
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662 |
RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection]
[1] | 4203 |
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661 |
플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation]
[1] | 3549 |
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660 |
플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE]
[1] | 6790 |
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659 |
N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma]
[1] | 4584 |
