ATM Plasma 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다.
2012.08.01 13:40
안녕하세요
상압 플라즈마와 관련하여 몇가지 문의 드릴려고 합니다.
1. 헬륨 가스를 이용하여 상압 플라즈마를 발생 시켰을때, 헬륨 이온이 생성 될때 발생하는
전자로 인하여 공기중의 다른 원소들이 이온화 된다고 알고 있습니다. 그럼 이온화된
헬륨은 인체 또는 공기에 어떤 영향을 끼치는지 문의 드립니다.
2. 텅스텐을 세라믹으로 감싼 전극과 아노다이징 된 알루미늄 사이(0.5mm)에 물 미립자를 통과 시켜서
-OH 라디칼 이온을 만들려고 했는데, 오존이 종종 발생 됩니다. 전극에서 전달된 에너지가
-OH 라디칼 이온과 오존 중 어떤 걸 먼저 만들어 내는지 알 수 있을까 해서요..
우선은 두가지 문의 드립니다.
제 이메일 주소는 vngkgk11@gmail.com 입니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [284] | 77282 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20485 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57401 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68929 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92985 |
| 808 | 플라즈마 장비 내부 온도 측정법 [1] | 3 |
| 807 | Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [1] | 35 |
| 806 | Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [1] | 37 |
| 805 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 41 |
| 804 | Druyvesteyn Distribution | 50 |
| 803 | CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [1] | 53 |
| 802 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 58 |
| 801 | Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [1] | 58 |
| 800 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 64 |
| 799 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 68 |
| 798 | CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [1] | 72 |
| 797 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 82 |
| 796 | PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. | 82 |
| 795 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 89 |
| 794 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 90 |
| 793 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 92 |
| 792 | ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [1] | 92 |
| 791 | 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] | 95 |
| 790 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 103 |
| 789 | HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] | 111 |