Others 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제

2012.11.09 20:21

파르코 조회 수:6377

30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77266
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20479
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57385
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68916
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92965
327 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5955
326 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5983
325 SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유 [1] file 6018
324 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 6117
323 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6126
322 자료 요청드립니다. [1] 6214
321 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6326
320 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6326
319 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6351
» 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6377
317 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6413
316 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6424
315 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6473
314 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6474
313 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6481
312 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6504
311 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6518
310 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6543
309 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6575
308 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6725
쓰기
태그

Boards

XE Login