Deposition 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다.
2013.07.18 16:47
지금 모기업에서 인턴을 하면서 CVD파트에 대해서 공부를 하고있습니다.
PECVD를 과정에서 플라즈마의 균일도가 중요 하다고 합니다.
이때 어떠한 변수들이 플라즈마의 균일도에 영향을 주는지 궁급합니다.
이와더불어 N2플라즈마와 수소플라즈마의 차이점에 대해서 알고 싶습니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [281] | 77187 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20456 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57355 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68895 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92935 |
| 524 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9559 |
| 523 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9538 |
| 522 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9271 |
| 521 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9271 |
| 520 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9060 |
| 519 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 9025 |
| 518 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8940 |
| 517 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8784 |
| 516 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8779 |
| 515 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8773 |
| 514 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8661 |
| 513 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8634 |
| 512 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1]  | 8633 |
| 511 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8587 |
| 510 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8583 |
| 509 | 핵융합에 대하여 | 8565 |
| 508 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8157 |
| 507 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8132 |
| 506 | 고온 플라즈마 관련 | 8091 |
| » | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8075 |