Deposition [CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
2019.01.23 13:10
안녕하세요.
CVD공정쪽에서 일하고 있는 엔지니어 반형진입니다.
a-Si 증착 시 Vdc값이 증착된 막 내의 수소량에 어떻게
영향을 미치는지 알려주시면 정말 감사하겠습니다.
댓글 4
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 76987 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20335 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57258 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68803 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92803 |
541 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13207 |
540 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13069 |
539 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12813 |
538 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12775 |
537 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12546 |
536 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12366 |
535 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11535 |
534 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11509 |
533 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11497 |
532 | DC bias (Self bias) [3] | 11315 |
531 | RGA에 대해서 | 10552 |
530 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10494 |
529 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10387 |
528 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10386 |
527 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10324 |
526 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 10029 |
525 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9888 |
524 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9845 |
523 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9677 |
522 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9643 |