Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
Etch
Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
2020.07.09 13:00
도리
조회 수:2333
안녕하세요 교수님
Etch시 센터와 사이드 etch rate이 다를 경우 어떤 공정 파라미터를 조절해야 하나요?
댓글
1
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[282]
77213
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
20466
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
57362
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
68901
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
92946
446
방전에서의 재질 질문입니다.
[1]
3568
445
Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다.
[1]
3545
444
Bias 관련 질문 드립니다.
[1]
3496
443
plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2]
3481
442
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1]
3463
441
RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
[2]
3458
440
코로나 방전의 속도에 관하여...
[1]
3453
439
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1]
3385
438
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2]
3347
437
PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다.
[1]
3346
436
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2]
3326
435
electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
[2]
3276
434
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3]
3246
433
CVD 공정에서의 self bias
[1]
3209
432
M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다.
[1]
3199
431
아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서
3168
430
Plasma 에칭 후 정전기 처리
[3]
3073
429
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1]
3064
428
Plasma etcher particle 원인
[1]
3053
427
RF matcher와 particle 관계
[2]
3036
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer