번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68760
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92719
79 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22951
78 CCP/ICP , E/H mode 23057
77 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 23101
76 No. of antenna coil turns for ICP 23111
75 고온플라즈마와 저온플라즈마 23150
74 DC glow discharge 23267
73 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23273
72 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23346
71 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23412
70 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23458
69 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23779
68 Arcing 23850
67 플라즈마 쉬스 23959
66 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23990
65 self Bias voltage 24093
64 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24123
63 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24190
62 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24364
61 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24368
60 플라즈마가 불안정한대요.. 24525

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