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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68758
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92716
799 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 13
798 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 13
797 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 60
796 Druyvesteyn Distribution 22
795 플라즈마 식각 커스핑 식각량 35
794 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 77
793 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 17
792 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 30
791 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 83
790 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 88
789 플라즈마 설비에 대한 질문 75
788 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 98
787 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 226
786 skin depth에 대한 이해 [1] 177
785 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 125
784 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 123
783 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 202
782 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 157
781 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 143
780 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 71
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