Others QMA에서 electron beam의 generation 과정

2004.06.19 16:04

관리자 조회 수:17856 추천:227

1. QMA에서 electron beam을 generation하는 과정을 알고 싶습니다.
2. Ion source근방에서 Lens를 상용하는 것으로 알고 있는데..
  이온 빔을 평행한 빔으로 만드는 과정인지를 알고 싶습니다.
3. Energy Filter의 종류와 원리를 알고 싶습니다.

너무 질문이 추상적인 것 같아서 ... ^^
죄송합니다. 아직 모르는 것이 많아서.......

ps. 혹시라도 QMA를 통하여 얻어지는 signal에 대한 NIST표준을
      찾을 수 있는 site및 자료를 갖고 계신다면... 좀 얻을 수 있었으면
      좋겠습니다.  어떻게 좀.... 알수있는 방법이 없을까요...
      이에 대한 참고 문헌을 소개해 주셔도 ....
      정말 감사드리겠습니다. ^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77153
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20433
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57339
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68884
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92906
622 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 816
621 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 817
620 라디컬의 재결합 방지 [1] 818
619 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 819
618 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 825
617 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 830
616 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 835
615 RF 파워서플라이 매칭 문제 840
614 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 842
613 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 846
612 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 853
611 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 856
610 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 858
609 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 861
608 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 861
607 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 867
606 Self bias 내용 질문입니다. [1] 869
605 문의 드립니다. [1] 876
604 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 883
603 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 893

Boards


XE Login