Others QMA에서 electron beam의 generation 과정

2004.06.19 16:04

관리자 조회 수:17853 추천:227

1. QMA에서 electron beam을 generation하는 과정을 알고 싶습니다.
2. Ion source근방에서 Lens를 상용하는 것으로 알고 있는데..
  이온 빔을 평행한 빔으로 만드는 과정인지를 알고 싶습니다.
3. Energy Filter의 종류와 원리를 알고 싶습니다.

너무 질문이 추상적인 것 같아서 ... ^^
죄송합니다. 아직 모르는 것이 많아서.......

ps. 혹시라도 QMA를 통하여 얻어지는 signal에 대한 NIST표준을
      찾을 수 있는 site및 자료를 갖고 계신다면... 좀 얻을 수 있었으면
      좋겠습니다.  어떻게 좀.... 알수있는 방법이 없을까요...
      이에 대한 참고 문헌을 소개해 주셔도 ....
      정말 감사드리겠습니다. ^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76981
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20333
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57254
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68801
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92796
801 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 19
800 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 21
799 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] 22
798 Druyvesteyn Distribution 25
797 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 34
796 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 37
795 플라즈마 식각 커스핑 식각량 41
794 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 42
793 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 68
792 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 74
791 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 76
790 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 79
789 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 84
788 플라즈마 설비에 대한 질문 84
787 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 88
786 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 96
785 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 102
784 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 102
783 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 104
782 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 125

Boards


XE Login