Plasma in general 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas
2019.01.09 15:32
플라즈마용사코팅에서 carrier gas 종류에 따른 차이점이 무엇일까요?
carrier gas로 Ar/He/H2/N2 사용 시 각 gas에 따른 차이점이 무엇인지 왜 그런 차이가 나는지에 대해 궁금합니다.
플라즈마 발생 기체로 사용시에는 이온화 에너지 차이에 따른 변화가 있을 것으로 예상 되지만
carrier gas 종류에 따른 차이도 있을까요?
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77208 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20465 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57361 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68900 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92946 |
802 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 145524 |
801 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134463 |
800 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 95846 |
799 | Plasma source type | 79726 |
798 | Silent Discharge | 64562 |
797 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 55006 |
796 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 47978 |
795 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43715 |
794 |
반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
![]() | 41295 |
793 | 대기압 플라즈마 | 40723 |
792 | Ground에 대하여 | 39519 |
791 | RF frequency와 RF power 구분 | 39114 |
790 | Self Bias | 36403 |
789 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) | 35988 |
788 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34970 |
787 | PEALD관련 질문 [1] | 32656 |