안녕하십니까?
진공관련 터보펌브 관련 질문을 드리려 합니다.
고진공 펌프인 터보펌프에 대기압 상태의 가스입자 즉 아보가드로 넘버 숫자의 입자가 주입이 될 경우
터보펌프에 어떤 무리가 오게 되는지 궁금합니다.
제가 예상하건데...터보펌프 블레이드가 녹아버리거나, 추즉합니다.
터보펌프에 에러가 발생을 해서요...따로 인터락은 작동하지 않은것으로 파악됩니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [292] | 77358 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20517 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57432 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68976 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93001 |
807 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 145714 |
806 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134466 |
805 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 96127 |
804 | Plasma source type | 79739 |
803 | Silent Discharge | 64567 |
802 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 55109 |
801 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 48037 |
800 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43729 |
799 | 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. | 41325 |
798 | 대기압 플라즈마 | 40729 |
797 | Ground에 대하여 | 39544 |
796 | RF frequency와 RF power 구분 | 39125 |
795 | Self Bias | 36407 |
794 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) | 36004 |
793 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34992 |
792 | PEALD관련 질문 [1] | 32664 |