Deposition 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
2019.05.22 16:11
안녕하세요. 반도체 회사에 근무중인 회사원 입니다.
다름이 아니고 PECVD로 박막 증착 시 Radical들의 움직임에 관해 궁금한 점이 있어서 글을 올립니다.
Radical이 Wafer위에서 migration후 반응하여 island를 만들고 그 섬들이 성장하여 박막을 형성하는 것으로 알고 있는데
Radical이 가지는 에너지, 기판의 온도, 기판을 이루는 물질과의 결합에너지 등을 통해 Radical이 기판위에서
평균적으로 얼마나 움직이는지, 어느 위치를 안정적인 site로 인식하고 반응하는지 등을 알 수 있을까요?
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77146 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20426 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57335 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68882 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92901 |
182 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 817 |
181 | Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] | 814 |
180 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 813 |
179 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 807 |
178 | Collisional mean free path 문의... [1] | 799 |
177 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 794 |
176 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 793 |
175 | 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] | 793 |
174 | Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] | 778 |
173 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 770 |
172 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 770 |
171 | 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] | 767 |
170 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 764 |
169 | 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] | 763 |
168 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 751 |
167 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 750 |
166 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 746 |
165 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 745 |
164 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 745 |
163 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 744 |