Plasma in general 간단한 질문 몇개드립니다.
2020.01.29 20:33
안녕하세요. 플라즈마 장비를 다루면서 당연시 생각했던건데 이유를 생각해보면
막상 안떠오를때가 있습니다. 그래서 몇가지 질문드리려고요.
1.같은 메이커 같은 모델의 장비를 쓸때에도 depo rate, etch rate가 제각기 다른데
이런이유를 어떻게 설명해야될까요..
2.하루종일 장비를 안쓰면 etch rate가 달라지는데 leak가 있어서 진공이 달라진것도
아닌데 왜 이런현상이 일어날까요? 이런 현상때문에 일부러 dummy wafer를 칠때가
있습니다.
3.chamber를 open한 직후와 많이 양산이 돌아간 상태에서 마찬가지로 rate가 달라지는데
이유가 있을까요?
4.chamber 벽 표면의 물질이 달라지면 플라즈마의 특성, 쉬스 이런것들이 달라지나요?
(Sputter 장비에서 shield의 부산물 포획특성을 위해 coating의 물질을 바꾸는 경우가 있어
문의드립니다)
댓글 1
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