Etch Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
2020.07.09 13:00
안녕하세요 교수님
Etch시 센터와 사이드 etch rate이 다를 경우 어떤 공정 파라미터를 조절해야 하나요?
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77303 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20501 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57414 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68950 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92988 |
| 810 | 플라즈마 장비 내부 온도 측정법 [1] | 18 |
| 809 | micro arc에 대해 질문드립니다. [1] | 22 |
| 808 |
Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다.
[2]  | 33 |
| 807 | Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [1] | 39 |
| 806 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 43 |
| 805 | Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [1] | 46 |
| 804 | Druyvesteyn Distribution | 54 |
| 803 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 60 |
| 802 | CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [1] | 62 |
| 801 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 64 |
| 800 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 68 |
| 799 | Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [1] | 76 |
| 798 | CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [1] | 79 |
| 797 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 83 |
| 796 | PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. | 89 |
| 795 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 90 |
| 794 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 92 |
| 793 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 93 |
| 792 | 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] | 100 |
| 791 | ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [1] | 104 |