OES Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.

2020.09.11 17:48

박지태 조회 수:3337

안녕하세요.


우선 늘 성실하게 답변을 해주셔서 감사드립니다. 연구에 큰 도움이 되고 있습니다


Plasma Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 두껍게 증착시키고자 합니다.

실험의 목적은 Viewport Winodw에 증착된 Polymer가 유발하는 투과율의 변화를 OES를 통해 확인하는 것입니다.

가능한 한 두껍게 Polymer를 증착시키고 싶은데 Gas 및 Chamber 환경을 어떻게 조성해야 이런 환경을 만들 수 있을지 알려주신다면 감사하겠습니다!


이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76984
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20334
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57256
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68802
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92801
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 553
» Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3337
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16670
558 알고싶습니다 [1] 1474
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2348
556 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 974
555 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 767
554 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2841
553 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1446
552 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2498
551 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 711
550 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1616
549 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4551
548 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1138
547 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10387
546 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2522
545 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 900
544 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3824
543 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 493
542 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2303
쓰기
태그

Boards

XE Login