Chamber Impedance 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
2020.09.25 10:30
안녕하십니까 현재 MF(400kHz) 파워를 개발중에 있는 연구원입니다.
RPG 파워를 개발중에 있습니다.
개발품으로는 RPG에서 챔버의 유량 (GAS)에 따른 출력이 변화하며 제어 되어야 하는데,
검출로는 FWD_P, REF_P만을 사용하려 합니다.
이 두가지 팩터로, 챔버의 임피던스 변화량을 추정 할 수 있는지 궁금합니다.
만약 방법이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77053 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20375 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57285 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68832 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92832 |
580 | 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] | 886 |
579 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1137 |
578 | 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] | 405 |
577 | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] | 28577 |
576 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1394 |
575 | Load position 관련 질문 드립니다. [1] | 2466 |
574 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 468 |
573 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 1128 |
572 | 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] | 6420 |
571 | ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] | 822 |
570 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 591 |
569 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 972 |
568 | 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] | 1524 |
567 | O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 | 1180 |
566 | ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] | 5608 |
565 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 858 |
564 | 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] | 1714 |
563 | 플라즈마볼 제작시 [1] | 2259 |
» | 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] | 2594 |