Plasma in general 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다.
2021.02.16 15:54
안녕하세요.
국내 소재 기업에 근무하며 진공장비 및 박막 공정에 대해 공부하고 있는 이용섭입니다.
궁금한 점은
DC나 RF 플라즈마를 켜고 육안으로 봤을 때 압력에 따라 플라즈마의 크기(퍼지는 정도)에 차이가 발생합니다.
압력이 낮으면 플라즈마 크기가 커지고(퍼지고), 압력이 높아지면 플라즈마 크기가 작아지는 것으로 보입니다.
이러한 현상이 나타나는 이유(압력에 따라 플라즈마 크기가 달라지는 이유, 원리)가 궁금합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76897 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20286 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57205 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68759 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92719 |
779 | RF에 대하여... | 32051 |
778 | ICP 플라즈마에 관해서 [2] | 32026 |
777 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 31690 |
776 | DC Bias Vs Self bias [5] | 31580 |
775 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. | 30076 |
774 | 플라즈마 밀도 | 30017 |
773 | PECVD에서 플라즈마 damage가 발생 조건 | 29776 |
772 | matching box에 관한 질문 [1] | 29687 |
771 | 플라즈마의 정의 | 29490 |
770 | 물질내에서 전하의 이동시간 | 29403 |
769 | [Sputter Forward,Reflect Power] [1] | 29280 |
768 | OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] | 28968 |
767 | 플라즈마를 이용한 오존 발생장치 | 28942 |
766 | Arcing [1] | 28668 |
765 | 반도체 관련 질문입니다. | 28580 |
» | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] | 28567 |
763 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 28391 |
762 | esc란? | 28094 |
761 | sheath와 debye shielding에 관하여 | 27881 |
760 | 탐침법 | 27872 |