Plasma in general RF 전압과 압력의 영향?
2021.12.06 14:03
안녕하세요 교수님. 항상 친절한 답변 감사드립니다.
회사를 다니면서 공부를 하다보니 제가 부족한 부분이 많아 자꾸 찾아뵙게 되네요.
현재 염근영 교수님의 '플라즈마 식각기술' 이라는 책을 공부하고 있는데요.
읽다보니 간단한것 같은데 이유를 모르겠는게 있어서 문의 드립니다.
Pressure가 공정에 미치는 영향 중에 압력이 낮아지면 rf voltage가 높아진다고 나와있는데 그 이유가 궁금합니다.
그리고 이 전압이라함은 플라즈마와 전극 사이의 전압을 말하는건가요?
제가 전기쪽으로는 지식이 많이 부족해서 헷갈립니다 ㅜㅜ
감사합니다!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77303 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20501 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57414 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68950 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92988 |
650 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19202 |
649 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19172 |
648 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19057 |
647 | 플라즈마에 관하여... | 18970 |
646 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18883 |
645 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18818 |
644 | 플라즈마의 환경이용 | 18775 |
643 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18770 |
642 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18749 |
641 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18664 |
640 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18576 |
639 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18565 |
638 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18561 |
637 | 최적의 펌프는? | 18555 |
636 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18540 |
635 | RF compensate probe | 18461 |
634 | 물리적인 sputterting | 18389 |
633 | Faraday shielding & Screening effect | 18375 |
632 | 질문 있습니다. [1] | 18373 |
631 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18326 |