Ion/Electron Temperature 플라즈마 진단 공부중 질문
2022.07.08 16:13
안녕하세요. 플라즈마 장비 엔지니어입니다.
광학적 (OES) 플라즈마 진단을 공부하는 도중
PAL에서 학위를 받으신 박사님의 자료를 보게되었는데 질문사항이 생겨 글남기게 되었습니다.
Particle Balance Equation 이라고 해서 아래와 같은데요,
n1 = n0 - n1s2 - n1s3 - n1s4 - n1s5 - ne
n1 = Ground State Density
n0 = Total Gas Density
n1sx = Ar 4s
ne = Electron Density
1. 여기서 n1과 n0는 모두 이상기체방정식으로 구하는게 맞나요 ?? (n=P/kT)
2. 혹시 맞다면 방전이 Off일때 기체온도, On일때 기체온도의 차이로 인해 구분될 수 있는건가요 ?
- Off일때 기체온도가 낮아서 n0 값이 큼
- On일때 기체온도가 높아서 ng 값이 작음
항상 좋은정보 감사드립니다~~
댓글 1
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