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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 장비 내부 온도 측정법
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micro arc에 대해 질문드립니다.
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Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다.
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807 |
Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다.
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C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책
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Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다
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804 |
Druyvesteyn Distribution
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803 |
CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다.
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DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다.
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플라즈마 식각 커스핑 식각량
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스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다!
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Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다.
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CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다.
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내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다.
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PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다.
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자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문
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Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다.
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스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
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공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다.
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ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다.
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