번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20426
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57335
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68877
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92900
142 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 646
141 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 642
140 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 638
139 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 637
138 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 632
137 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 627
136 RF Sputtering Target Issue [2] file 627
135 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 625
134 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 622
133 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 622
132 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 621
131 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 618
130 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 615
129 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 615
128 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 603
127 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 603
126 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 602
125 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 601
124 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 600
123 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 599
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