Etch Dry Etcher 에 대한 교재
2009.08.07 17:14
저는 LCD Dry Etcher 내 하부에 장착되는 ESC(Plasma ceramic Coating Type) 만드는 회사에 다니고 있습니다.
전공이 재료공학 인지라 Etcher 에 대한 설비, 공정진행 여러가지 모자란 부분이 많습니다. 이 부분을 독학 공부를 하고 싶은데 도움되는 교재를 추전해 주셨으면 좋겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] | 77228 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20468 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57362 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68903 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92951 |
106 | 플라즈마 측정기 [1] | 21344 |
105 | 플라즈마 실험 | 21356 |
104 | Breakdown에 대해 | 21398 |
103 | 47th American Vacuum Society International Symposium 2000 | 21426 |
102 | CCP 에서 Area effect(면적) ? | 21434 |
101 | 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [1] | 21524 |
100 | F/S (Faraday Shield) | 21545 |
99 | 대기압플라즈마를 이용한 세정장치 | 21553 |
98 | ccp-icp | 21573 |
97 | 스퍼터링시 시편두께와 박막두께 [1] | 21644 |
96 | manetically enhanced plasmas | 21665 |
95 | glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 | 21787 |
94 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21935 |
93 | 펄스바이어스 스퍼터링 답변 | 21965 |
92 | 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 | 22014 |
91 | 플라즈마 코팅에 관하여 | 22105 |
90 | 플라즈마의 발생과 ICP | 22169 |
89 | 질문있습니다 교수님 [1] | 22222 |
88 | Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] | 22272 |
87 | remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] | 22302 |