Others 석영이 사용되는 이유?

2010.04.16 19:26

최영익 조회 수:20067 추천:151

안녕하세요. 플라즈마를 공부하는 최영익이라고 합니다.

plasma device들 중에 석영을 주로 쓰는 경우가 있는데 특별한 이유가있는지요?

플라즈마 발생장치 중에 석영관 사이에서 방전을 한다거나

안테나가 석영관 뒤에 있는 경우가 있는데

석영이 선택되는 특별한 이유가 있는지요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77297
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20493
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57412
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68942
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92988
230 대기압 플라즈마 40726
229 반도체 관련 질문입니다. 28583
228 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 48019
227 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20222
226 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 16058
225 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19458
224 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 30148
223 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17213
222 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] 34978
221 질문 있습니다. [1] 18373
220 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] 22649
219 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25600
218 플라즈마 진단법에 대하여 [1] 20616
217 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] 20273
216 UBM 스퍼터링 장비로... [1] 20927
215 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24923
214 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24663
213 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27248
212 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41308
211 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23442

Boards


XE Login