Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
B dot
플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
2017.11.27 04:58
토북이
조회 수:1328
플라즈마 진단에서 로고스키 코일의 역할이 무언가요?
로고스키 코일의 원리는 무엇인가요>???
댓글
1
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[284]
77287
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
20486
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
57404
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
68934
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
92985
389
플라즈마 기본 사양 문의
[1]
621
388
RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다.
[1]
1932
387
wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상
[1]
1846
386
VI sensor를 활용한 진단 방법
[2]
2921
385
아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다.
[1]
1011
384
ICP 후 변색 질문
746
383
Plasma etcher particle 원인
[1]
3073
382
PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성....
[1]
2377
381
Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정
347
380
ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
4397
379
Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미
[1]
1040
378
고진공 만드는방법.
[1]
1021
377
PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요
[1]
432
376
플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성
[2]
702
»
플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
[1]
1328
374
Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다.
473
373
코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다
[1]
773
372
SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유
[1]
6023
371
플라즈마 압력에 대하여
[1]
2746
370
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1]
3470
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer