Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:916

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77301
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20496
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57414
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68946
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92988
810 플라즈마 장비 내부 온도 측정법 [1] 15
809 micro arc에 대해 질문드립니다. [1] 17
808 Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [2] file 25
807 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [1] 38
806 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 43
805 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [1] 44
804 Druyvesteyn Distribution 54
803 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [1] 59
802 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 60
801 플라즈마 식각 커스핑 식각량 64
800 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 68
799 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [1] 75
798 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [1] 79
797 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 83
796 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 89
795 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 89
794 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 91
793 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 93
792 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 99
791 ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [1] 101

Boards


XE Login