Plasma in general RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다
2018.12.30 00:05
안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.
최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데,
1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?
2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?
바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77294 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20490 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57409 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68939 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92987 |
| 450 | 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] | 2600 |
| 449 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 531 |
| 448 | [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] | 1323 |
| 447 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 770 |
| 446 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 856 |
| 445 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 873 |
| » | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 988 |
| 443 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 585 |
| 442 | Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] | 1687 |
| 441 |
염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다.
[1]  | 397 |
| 440 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 479 |
| 439 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2362 |
| 438 | Pecvd 장비 공정 질문 [1] | 1707 |
| 437 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 1352 |
| 436 | DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] | 2397 |
| 435 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 3559 |
| 434 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 714 |
| 433 | RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] | 1237 |
| 432 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2178 |
| 431 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 504 |