Plasma in general RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다

2018.12.30 00:14

시쿠임 조회 수:873

안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.

RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77308
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20506
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57415
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68958
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92989
610 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 868
» RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 873
608 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 876
607 문의 드립니다. [1] 886
606 Self bias 내용 질문입니다. [1] 889
605 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 898
604 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 907
603 Plasma Generator 관련해서요. [1] 916
602 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 919
601 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 919
600 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 923
599 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 930
598 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 940
597 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 945
596 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 947
595 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 948
594 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 970
593 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 975
592 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 977
591 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 989
쓰기
태그

Boards

XE Login